RFID-technologie maakt identificatie mogelijk in opslagkasten voor halfgeleiderwafers

Om de kernconcurrentiekracht van het land in de strategische hightechindustrie van chips te verbeteren, hebben steden en gemeenten investeringsaantrekkingen geïntroduceerd, uitstekende halfgeleidergerelateerde ondernemingen geïntroduceerd en sterke ondersteunende beleidsmaatregelen geboden. Als gevolg hiervan zal de binnenlandse halfgeleiderindustrie zeker een substantiële ontwikkeling inluiden. Na diepgaande onderzoeks- en ontwikkelingsexperimenten is een RFID-versterkereenheid ontwikkeld die geschikt is voor het beheer van halfgeleiderwafers, waarmee binnenlandse halfgeleiderbedrijven een stabiele, betrouwbare en kosteneffectieve RFID-identificatieoplossing krijgen. Tegelijkertijd verrijkt het de RFID-toepassingsscenario's in de binnenlandse halfgeleiderindustrie, zoals de RFID-geïntegreerde CID-dragerlezer en -schrijver, die de behoeften van nauwkeurige informatieverzameling en één-op-één-tellerbeheer van waferboxopslagkasten realiseert. De specifieke implementatiemethoden zijn als volgt:

De RFID-dragerlezer wordt onder elke steunplaat van de opslagkast geplaatst. Wanneer de waferbox in de uitlijningskolom van de opslagkast wordt geplaatst, activeren infraroodstralen de RFID-dragerlezer om de identificatiestatus in te voeren en de waferbox onmiddellijk te identificeren. CID-drager, het systeem kan bepalen of de wafercassette correct is geplaatst, bepalen of de wafercassette zich in de kast bevindt, enz. Gecombineerd met de temperatuur-, vochtigheids-, zuurstof- en stikstofsensoren van de opslagkast, kunnen het milieubeheer en het tellerbeheer van de wafercassette worden gerealiseerd en informatiebeheer.

De wafercassetteopslagkast van een fotomaskerbedrijf in Guangzhou maakt gebruik van RFID-lezers. Het on-site installatiediagram toont:

relatieve apparaten

V610

De V610 halfgeleider RFID-lezer is klein, lichtgewicht en kan flexibel worden geïnstalleerd. Het ondersteunt een werkfrequentie van 134,2 kHz, neemt de HDX half-duplex gegevensoverdrachtmodus aan, ondersteunt het standaard Modbus RTU-protocol en integreert het radiofrequentiecommunicatieprotocol intern. Het is eenvoudig te gebruiken en te bedienen zonder complexe radiofrequentiecommunicatieprotocollen te begrijpen.

V640

De V640 is een halfgeleider RFID-lezer die is ontwikkeld voor de halfgeleiderproductie-industrie. Het gebruikt de HDX half-duplex gegevensoverdrachtmodus, ondersteunt het SECS-protocol en het Modbus RTU-protocol, voldoet aan de wereldwijde SEMI-normen, is compatibel met CID-dragers geproduceerd door TI en heeft een uitstekende lees- en schrijfbetrouwbaarheid. Het heeft goede prestaties en omgevingsbestendigheid en ondersteunt het IO-signaal van een externe foto-elektrische schakelaar om het lezen van kaarten te activeren.

Realiseer voordelen

1. Vermijd beperkte plaatsingshoogte en -hoeveelheid veroorzaakt door menselijke factoren en gebruik de ruimte nauwkeuriger;

2. Vermijd handmatige fouten, tijdrovende en andere problemen;

3. Alle materiaalstromen kunnen worden gevolgd;

4. Houd de toegangsstatus van waferchips bij;

5. Verminder vervuiling en houd de wafer schoon;

6. Verbeter het automatiseringsbeheerniveau van de halfgeleiderindustrie.